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微型動態壓力傳感器有什么技術特點？動態特性了解嗎？

來源：南京愛爾傳感發布時間：2020-06-05 12:10 瀏覽量：

　　大家對微型動態壓力傳感器的了解有多少?該傳感器是一種用于風洞、發動機等測試部門測量壓力的設備，它采用金絲引線焊接，再用不銹鋼外殼微型封裝，這是一個比較明顯的特點。為什么會使用它比較多呢，主要還是因為它的體積小，可以放在很多其它傳感器放不了的地方，那么大家對微型動態壓力傳感器的技術特點及動態特性有多少了解呢?不清楚的話，就讓小編來為大家詳細的介紹一下吧，感興趣的朋友可以看一看。

　　微型動態壓力傳感器的技術特點：

　　小體積是其區別于一般工業、民用壓力傳感器的一個特點。這是由它的應用場合決定的特性，在模型試驗、流場壓力測量、風洞實驗、爆破、水利縮模實驗等應用中，必須采用盡可能小的安裝尺寸和外形，通用的隔膜壓力傳感器，如電容式、充油的隔膜壓阻傳感器因其探頭尺寸最小也在25mm左右，長度60mm，這樣的尺寸對于上述應用已無法滿足。

　　目前實驗中常用的硅壓阻式微型壓力傳感器，因其敏感元件尺寸小，利于微型化，長寬約1.5-4mm的圓形或方形單晶硅芯片經過真空鍵合，金絲引線焊接，再用不銹鋼外殼微型封裝，經過溫度補償和各項指標篩選，可以得到直徑3--8mm,長度15-30mm的微型結構尺寸，一般采用M5--M8的安裝螺紋。是目前應用比較普遍的微型壓力傳感器。

　　微型動態壓力傳感器的動態特性：

　　動態壓力傳感器目前主要有壓電式傳感器、應變式傳感器、硅壓阻式壓力傳感器三大類，壓電式傳感器是高頻測量效果最佳的傳感器，應變式動態響應稍差，前兩者均不易做到5mm以下微型化，而硅壓阻式壓力傳感器動態性能好，同時容易實現微型化封裝，具有廣泛的應用前景。

　　硅壓阻式壓力傳感器的動態性能主要取決于其芯片的設計原理和生產工藝，動態壓力傳感器在芯片的設計和制造工藝上對動態指標進行了優化，這與普通工業用的傳感器芯片是不一樣的。